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選擇好(hǎo)(hǎo)的行星減速機材料，有利于提高齒輪減速機的承載力及使用壽命。
針對精密減速機的結構特點和齒輪的載荷性質，應該廣泛采用硬齒面齒輪。獲得硬齒面齒輪熱處理(lǐ)方法有很多。如(rú)表面淬火(huǒ)、整體(tǐ)淬火(huǒ)、滲碳淬火(huǒ)、滲氮等，應根據齒輪減速機的特點選定。
1.表面淬火(huǒ)
常見的表面淬火(huǒ)方法有高頻淬火(huǒ)（對小尺寸齒輪）和火(huǒ)焰淬火(huǒ)（對大尺寸齒輪）兩種。表面淬火(huǒ)的淬硬層包括齒根底部時(shí)，其效果最好(hǎo)(hǎo)。齒面硬度可達45-55HRC.
2.滲氮
采用滲氮可保證齒輪在變形最小的條件下(xià)，達到很高的齒面硬度和耐磨性，熱處理(lǐ)後不再進行最好(hǎo)(hǎo)的精加工，提高了(le)承載能(néng)力。
3.滲碳淬火(huǒ)
滲碳淬火(huǒ)齒輪具有相對較大的承載能(néng)力，但(dàn)必須采用精加工工序（磨齒）來(lái)消除熱處理(lǐ)變形，以保證精度。
滲碳淬火(huǒ)齒輪常用滲碳前碳的分(fēn)數為(wèi)0.2%-0.3%的合金(jīn)鋼，其齒面硬度常在58-62HRC範圍内，若低(dī)于57HRC時(shí)，硬面強度顯著下(xià)降，高于62HR則脆性增加。滲碳淬火(huǒ)齒輪的硬度，從齒輪表面至深層逐漸降低(dī)，而有效滲碳深度規定為(wèi)表面至硬度5.25HRC處的深度。
滲碳淬火(huǒ)在齒輪彎曲疲勞強度方面的作(zuò)用除使心部硬度有所提高外，還在于表面的殘餘壓應力。它可使最大壓應力區的應力減小，因此磨齒時(shí)不能(néng)磨齒根部分(fēn)
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